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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器,包括:层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层,功能辅助层和P型DBR层构成台面结构;P型DBR层设置有沟道;台面结构被沟道分割成多个次台面结构;各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极,...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器,包括:层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层,功能辅助层和P型DBR层构成台面结构;P型DBR层设置有沟道;台面结构被沟道分割成多个次台面结构;各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极,...