下载一种半导体发光器件及其制备方法的技术资料

文档序号:15705800

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本发明公开了一种半导体发光器件及其制备方法,包括一衬底;一缓冲层,生长于所述的衬底上;一n型层,生长于所述的缓冲层上;一V‑pits延伸层,其为超晶格层,生长于所述的n型层上,以延伸V‑pits的尺寸;一发光层,生长于所述的V‑pits延伸...
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