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本发明提供一种包括作为铜互连的可缩放阻挡扩散层的钽钛合金的多层膜。一种用于在衬底上形成阻挡扩散层的方法包括使用原子层沉积工艺在衬底的特征中沉积钽层。该方法包括使用原子层沉积工艺在所述钽层上沉积钛层。该方法包括对衬底进行退火以形成包括钽‑钛合...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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