下载用于处理构件的载体,组件和方法的技术资料

文档序号:15704295

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一种载体包括:构造成支承多个构件的表面,所述表面具有限定于所述表面中的多个孔,真空能经由所述多个孔施加,以使所述构件保持在所述表面上;第一真空界面,其与所述多个孔连通,所述第一真空界面能连接于第一真空发生器,使得所述第一真空发生器能经由所述...
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