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本发明公开了一种新型Z轴升降平台，包括中空型旋转超声电机组件、升降机构组件和位移传感组件；本发明定位精度高、响应速度快和抗电磁干扰的特点，同时基于超声电机断电自锁的特性，无需附加额外锁定装置来保持位置，克服了电磁电机伺服抖动的问题；系统的整...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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