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逻辑半导体器件制造技术
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下载逻辑半导体器件的技术资料
文档序号:15692958
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一种逻辑半导体器件,包括:多个有源图案,在水平方向上延伸并且在垂直方向上彼此间隔开;隔离层,限定所述有源图案;在有源图案和隔离层上在垂直方向上延伸的多个栅极图案,所述栅极图案在水平方向上彼此间隔开;多个下配线,在栅极图案上方在水平方向上延伸...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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