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本发明提供了工艺控制方法及系统，工艺包括父过程和子过程，父过程和子过程对应的父配方和子配方均存储于下位机中；工艺控制方法包括以下步骤：S1，下位机根据上位机发送的指令解析父配方，以获取父执行步骤顺序以及每个父执行步骤所对应的子过程的标识和循...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。