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本发明公开了一种用于电解加工平面阵列深微沟槽的装置及电解加工方法，包括：衬底，以及位于衬底上的掩模板；掩模板内部设置有多条沿设定方向延伸的镂空流道结构；各镂空流道结构中设置有针电极。由于本发明提供的上述装置中掩模板内部设置有多条镂空流道结构...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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