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一种检测和评价光源平行性的方法涉及光学元件检测领域，该方法包括如下步骤：步骤一：将两块具有周期性的光栅相对放置，将待检测光源置于两块光栅一侧，CCD置于两块光栅另一侧；步骤二：待检光源在第一光栅表面上形成的波面半径为R...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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