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本发明涉及一种法布里‑珀罗滤光片的制备方法，通过在离子束出射窗口和待加工样片之间垂直于离子束出射方向放置开三角形窗口的挡板，沿离子束出射方向三角形顶部与样片一端重合，离子束刻蚀时，样片以某一恒定速率来回运动，经过一定的刻蚀遍数后，可获得垂直...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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