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本发明提供一种背照式传感器的制造方法及版图结构,所述版图结构中,金属栅格层的范围至少覆盖保护层靠近像素区的像素层的边界,从而在所述制造方法中,根据新的版图结构制造背照式传感器的金属栅格时,保护层与像素层的台阶处的金属不需要被蚀刻掉,从而避免...该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种背照式传感器的制造方法及版图结构,所述版图结构中,金属栅格层的范围至少覆盖保护层靠近像素区的像素层的边界,从而在所述制造方法中,根据新的版图结构制造背照式传感器的金属栅格时,保护层与像素层的台阶处的金属不需要被蚀刻掉,从而避免...