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一种侦测电镀洗边异常的装置制造方法及图纸
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下载一种侦测电镀洗边异常的装置的技术资料
文档序号:15465340
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本实用新型提出一种侦测电镀洗边异常的装置,包括:旋转台,用于放置晶圆并带动其进行旋转;洗边装置,靠近于所述旋转台侧边设置,对晶圆边缘进行去边处理;晶圆边缘侦测装置,靠近于所述旋转台侧边设置。本实用新型提出的侦测电镀洗边异常的装置,其为一种可...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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