下载半导体器件及其制造方法的技术资料

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一种半导体器件包括:衬底,包括单元区、第一接触区和第二接触区;下层叠结构,从单元区在第二接触区之上延伸;上层叠结构,从单元区在第一接触区之上延伸,上层叠结构使第二接触区开放;N个第一组台阶型凹槽(N是2或更大的自然数),穿通第一接触区中的上...
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