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本发明揭示了一种压力传感器的制备方法，包括：提供一半导体基板；形成压力感应层；在压力感应层上形成掩膜层；刻蚀压力感应层，在压力感应层的顶壁上未被掩膜层保护的区域形成开口；利用第一灰化工艺去除所述掩膜层；对刻蚀后的压力感应层进行湿法清洗；利用...
该专利属于上海丽恒光微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海丽恒光微电子科技有限公司授权不得商用。

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