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单晶硅的制造方法及制造系统技术方案
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文档序号:15396700
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正确地掌握各个氧化硅玻璃坩埚的容积来事先预测氧化硅玻璃坩埚内的硅熔液的初期液位,据此可靠地进行晶种的着液工艺。在氧化硅玻璃坩埚内填充原料之前测量氧化硅玻璃坩埚的内表面上的多个点的空间坐标,根据将各测量点作为顶点坐标的多角形组合来特定氧化硅玻...
该专利属于株式会社SUMCO所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社SUMCO授权不得商用。
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