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说明一种用于制造涂层的方法,其包括以下步骤:提供具有盖面(4a)和主涂层方向(Z)的材料源(4),提供具有盖面(1a)的衬底保持器(1),提供至少一个基础层(2),所述基础层具有在衬底的盖面(1a)上的背向衬底保持器(1)的涂层面(2a),...该专利属于奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司授权不得商用。
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