下载半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:15332477

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种半导体装置及其制造方法。半导体装置的制造方法中,形成掺杂第一掺杂物的一掺杂层于一基底上。形成一半导体层于掺杂层上。通过至少图案化半导体层及掺杂层而形成一鳍结构,使鳍结构包括具有半导体层的沟道区及具有掺杂层的阱区。形成一隔离绝缘...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。