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一种用于PECVD设备中加热盘的测温工装，包括测温头，基板和固定件。基板平行置于沉积加热盘的上表面上，测温头通过固定件固定在基板的圆孔内。测温头通过数据线与测温仪器连接。本发明不会引起对加热盘及设备的表层及亚表层损伤；本发明采用表面多点测量...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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