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基板分割装置制造方法及图纸
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文档序号:15267138
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本发明的基板分割装置稳定地分割基板。其包括:环形的第一平型传送带(110),在将基板承载成使得划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下传输基板,其表面用聚氨酯树脂覆盖;第一驱动滑轮(130),驱动第一平型传送带(110);环形的第二平型传送带...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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