下载基板分割装置的技术资料

文档序号:15267138

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本发明的基板分割装置稳定地分割基板。其包括:环形的第一平型传送带(110),在将基板承载成使得划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下传输基板,其表面用聚氨酯树脂覆盖;第一驱动滑轮(130),驱动第一平型传送带(110);环形的第二平型传送带...
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