下载探针卡与测试方法的技术资料

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一种探针卡与测试方法于此揭露。探针卡包含配置为测试单元的多个探针组。测试单元用以对晶圆上待测区域的多个晶粒进行测试,并于测试完成后向第一方向移动m单位及向第二方向移动n单位以对下一待测区域进行测试,其中m、n为正整数。...
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