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本实用新型提出了一种应用于MOCVD机台腔室的组件，包括多个遮挡板和若干个晶圆承载盘，所述遮挡板包括围绕于晶圆承载盘周围并与晶圆承载盘位于同一水平面的第一结构和位于晶圆承载盘上方的第二结构，其中，所述遮挡板第一结构上表面为经过粗化处理的粗糙...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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