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本发明公开了一种LPCVD系统冷阱装置，包括套筒法兰组件和盘管法兰组件，套筒法兰组件包括筒体、设于筒体一端的出气口、设于筒体一侧的进气口以及轴向设于筒体内且一端与出气口相连通的导流管，盘管法兰组件包括法兰盘、设于法兰盘上的冷却水进、出口、分...
该专利属于上海微世半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微世半导体有限公司授权不得商用。

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