下载锗化合物、使用它制备的半导体器件及形成它们的方法的技术资料

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提供一种锗(Ge)化合物。该Ge化合物具有化学式GeR↓[x]↑[1]R↓[y]↑[2]。“R↑[1]”是烷基,而“R↑[2]”是氢、氨基、烯丙基和乙烯基中的一种。“x”大于0并且小于4,并且“x”和“y”之和等于4。还提供形成Ge化合物的...
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