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用于直拉单晶炉热场的加热器及使用方法技术
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文档序号:15112237
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本发明公开了一种用于直拉单晶炉热场的加热器,包括加热器主体(5);所述加热器主体(5)可翻转;所述加热器主体(5)的叶片端面上设置有加热器脚(6);所述加热器主体(5)的叶片两端均设置有螺纹孔(7);所述加热器脚(6)上相对于螺纹孔(7)设...
该专利属于杭州海纳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州海纳半导体有限公司授权不得商用。
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