下载半导体制作工艺方法的技术资料

文档序号:15080344

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本发明公开一种半导体制作工艺,包括:首先提供一半导体基材,其上设有多个半导体元件。再于半导体基材上形成至少一介电层,在介电层中形成多个开口,显露出半导体元件,再于半导体基材上涂布一材料层,使材料层填入开口,再对材料层进行一曝光及显影制作工艺...
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