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一种靶材组件及其加工方法，其中加工方法包括：形成靶材组件，靶材组件包括背板以及与背板相连的靶材，背板与靶材相连的一面为正面，靶材包括与带电粒子发生碰撞的溅射面和与溅射面通过倒角相连的侧面；靶材侧面与倒角的连接处和靶材侧面与背板正面连接处之间...
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