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被加工物的磨削方法技术
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文档序号:15024131
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被加工物的磨削方法。包括:第1磨削工序,仅利用第2超声波测定器根据在被加工物的正面和背面上的反射波的传播时间差来测定被加工物的实际厚度,并将被加工物的背面磨削至规定的厚度;保护部件厚度计算工序,根据通过利用第1超声波测定器而测定的卡盘台的上...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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