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金属化叠层及包括其的半导体器件和电子设备制造技术
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文档序号:14984947
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公开了一种金属化叠层及包括该金属化叠层的半导体器件和电子设备。根据实施例,金属化叠层可以包括:层间电介质层,包括电介质材料和负电容材料,其中,该层间电介质层中形成的至少一对彼此之间至少部分相对的第一导电互连部件在它们的相对部分之间包括电介质...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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