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一种用于产生深紫外光DUV的连续波CW光的激光包含二次谐波产生器及四次谐波产生器。所述四次谐波产生器包含多个镜以及第一及第二非线性光学NLO晶体。所述第一NLO晶体产生具有四次谐波波长的光，且经放置而与所述多个镜成操作关系。所述第二NLO晶...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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