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本发明的一个方面的检查装置包含：光源，其输出光；MO晶体，其与半导体器件(D)相对地配置；物镜，其将自光源输出的光汇聚于MO晶体；保持器，其保持MO晶体；可挠性构件，其介于MO晶体与保持器之间；及物镜驱动部，其通过使保持器沿物镜的光轴方向移...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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