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一种电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材，包含Y2O3及ZrO2，按靶材重100％计，Y2O3含量为6～9wt％；靶材的制备方法包括：分别称所述的原料粉末；将称取的各原料粉末部分在500～700℃下烘干10～12h，获得原始细粉A，平均粒径...该专利属于中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司授权不得商用。