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本发明提供一种VOx/M/VOx三明治结构薄膜制备VO2的方法。可制备得到非制冷焦平面红外探测器用的高性能B相结构VO2薄膜和智能窗用的M相VO2薄膜。随着中间金属层溅射时间的增长，薄膜展现了B相到M相的相变，室温和80℃红外区域透过率的差...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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