下载超级结半导体器件及其形成方法的技术资料

文档序号:14839905

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本发明公开了一种超级结半导体器件及其形成方法。该超级结半导体器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底之上的埋层,埋层包括交替排列的、沿第一方向延伸的多个P型条状埋区和多个N型条状埋区;位于埋层之上的超级结器件层,超级结器件层底部包括交替排列的、...
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