下载一种电辅助的氮化物晶体生长装置及方法的技术资料

文档序号:14819728

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本发明公开了一种电辅助的氮化物晶体生长装置和方法,包括反应釜和设置在该反应釜内的坩埚,坩埚内填充有反应物溶液,坩埚内底面放置有被反应物溶液浸没的晶种模板,反应釜上设有氮气进口和排气口,还包括电装置,该电装置包括电压源、上电极和下电极,上电极...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。

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