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基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜结构参数的确定方法，不能兼备高效率和准确性的问题。本发明的反演方法，步骤如下：先通过多层膜的光学常数和目标结构参数，计算多层膜在固定波长、不...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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