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一种通过结形貌改善闪存耐久性的方法技术
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文档序号:14760222
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一种通过结形貌改善闪存耐久性的方法,其包括将2T嵌入式闪存单元阵列中形成内部结后的硅片旋转90度,使离子注入沿存储管和选择管栅极方向;同时倾斜离子注入角度,其利用隔离区高度的阴影效应使内部结的注入远离隔离区;进行第一次离子注入;将2T嵌入式...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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