下载具有虚设通道区的垂直存储装置的技术资料

文档序号:14680566

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供了具有虚设通道区的垂直存储装置。所述存储装置包括:均在与基底的上表面垂直的方向上延伸的多个通道区;与通道区相邻地堆叠在基底上的多个栅电极层和多个绝缘层,每个栅电极层延伸不同的长度;以及与所述多个栅电极层的第一端相邻的多个虚设通道区,其中...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。