下载提高前照式CMOS图像传感器红光量子效率的方法及结构的技术资料

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本发明提供了一种提高前照式CMOS图像传感器红光量子效率的方法及结构。本发明的提高前照式CMOS图像传感器红光量子效率的方法包括:第一步骤:在生长接触孔刻蚀阻挡层前用一层定义红光感光区为打开的掩膜板,对金属硅化物的阻挡层二氧化硅层进行刻蚀,...
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