下载包括鳍结构的半导体器件及其制造方法的技术资料

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半导体FET器件包括缓冲结构和鳍结构。缓冲结构具有鳍状,设置在衬底上方并且沿着第一方向延伸。鳍结构包括FET器件的沟道区,设置在缓冲结构上并且沿着第一方向延伸。沿着与第一方向垂直的第二方向的缓冲结构的宽度大于沿着第二方向在缓冲结构和鳍结构之...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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