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原材料气体，燃烧气体，和载体气体被输送到芯沉积燃烧器中，而原材料气体，燃烧气体，载体气体，和用于掺氟的气体被输送到包层沉积燃烧器中，从而形成由芯玻璃粉尘棒和包层玻璃粉尘棒构成的多孔玻璃粉尘棒。随着粉尘棒的生长，增加掺氟气体供给量同时保持其它...
该专利属于住友电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。

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