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一种双区加热的等离子增强化学气相沉积腔体晶圆基座（Dual Zone Heater），包括基座主体，所述基座主体上设置晶圆凹槽，晶圆凹槽分为中心区域和边缘区域两部分，中心区域和边缘区域采用两套内嵌加热元件及温度传感器来独立加热。它是在传统的...
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