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本发明提供了一种制备透射电子显微镜样品的方法，包括：第一步骤：针对样品上的需要分析的特定目标形成用于标定特定目标的标记；第二步骤：向芯片样品射入聚焦离子束，根据标记找到特定目标所处的区域，使用与样品垂直的离子束将芯片样品切割至靠近特定目标预...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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