下载封装件结构及其形成方法的技术资料

文档序号:14396851

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一些实施例涉及用于形成封装件结构的方法并且由此形成的封装件结构。实施例方法包括:在支撑结构上沉积感光介电层;在感光介电层的表面上形成第一层;将感光介电层暴露于辐射;以及在形成第一层和暴露于辐射之后,显影感光介电层。支撑结构包括集成电路管芯。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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