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本发明涉及原子层沉积涂层用于保护钎焊线路不被腐蚀、侵蚀和击穿。根据本公开，提供了几个发明，包括用于钎焊至少两个铝或铝合金部件并提供阳极氧化涂层以及用于增加耐等离子体腐蚀性的原子层沉积涂层的装置和方法。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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