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一种可调节高度的晶圆承托机构制造技术
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文档序号:14336970
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一种可调节高度的晶圆承托机构,解决了现有晶圆承托机构不可调节的问题。该机构包括热盘、陶瓷套、陶瓷柱及调整扳手。所述陶瓷柱制有外螺纹,陶瓷套制有内螺纹,陶瓷套与陶瓷柱螺纹连接。上述热盘加工有圆形沉孔,将陶瓷套放入沉孔,再将陶瓷柱用调整扳手旋入...
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