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一种基板处理装置(1)，包括：基板保持部(31)；基板旋转机构(32)，使基板保持部(31)与基板(9)一同旋转；处理液供给部(5)，向基板(9)供给处理液；杯部(4)，其内周面(412)接受从旋转的基板(9)飞散的处理液；顶板(22)，配...
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