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本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及新型衬底解键合装置。该新型衬底解键合装置，包括底板、前限位挡块、后限位挡块、导轨、滑动装置、上盘定位盘、气缸、上加热盘和立柱。本实用新型所涉及的新型衬底解键合装置能够将键合在一起的两块衬底分离开来，弹...
该专利属于苏州美图半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州美图半导体技术有限公司授权不得商用。

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