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公开一种用化学汽相淀积法制造氮化膜的方法，其中所用氮源材料气毒性较小，有足够高的汽化压力，能在较低温度分解，因而能制成高质量薄膜，生长温度降低，提高了生长速度。用包含以叔－丁基联氨为氮源主要成分的材料气与有机金属化合物，金属卤化物或金属氢化...
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