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公开了一种自动化沉积工艺。本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。将实际位置与预期位置作比较以判...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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