下载一种接触式测厚仪及晶片厚度测量装置的技术资料

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一种接触式测厚仪,至少包括:千分表、中空的套筒、测量杆和测量头,所述套筒贯穿千分表,所述测量杆的上部位于所述套筒内、下端连接测量头,所述测量杆于所述套筒内上下移动,其特征在于:所述套筒的顶端具有一调节所述测量杆上升高度的高度调节结构,所述套...
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